(1)用途
用于配套高压反应釜的多股进料气体混合模块。
(2)技术参数及性能描述要求
n 多股进料气体混合模块:
1.功能描述:用于连接三路及三路以上钢瓶气体进料(各路气体需实现精准计量及流量调节控制),并在该模块内对各路进料进行充分混合(模块内应包含高效混合器),混合后的混合气体通过一路出口送出该模块(混气出口需实现精准计量及流量调节控制);